Avancis、Singulus Technologies(ETR:SNG)、Heraeus Noblelight和IfG Institute for Scientific Instruments这四家德国公司共同合作参与光伏创新联盟CIS集群工具计划(Photovoltaics Innovations Alliance CIS Cluster Tool project)。该计划致力于开发新的CIS半导体电池板制造工序从而生产转换率更高的薄膜太阳能电池。计划将得到光伏创新联盟三年共计290万欧元的支持以及参与公司的支持。参与计划的公司将在总结示范工厂生产经验的基础上开发新的工业制造流程。
在此集群工具计划中,各参与公司将关注新厂概念及工序设计、全工序链及现场分析几个方面。创新型快速热加工(RTP)厂概念和工序的研究可以应用到大规模的生产,并且可以和生产线整合。设计新厂概念和新工序的目标就是对此研究进行验证,从而实现缩短周期并获得最高转换率的目标。
全新的全工序链的目标就是整合硒醚喷涂和CIS半导体快速热加工工艺从而更好地控制工序。这样就能实现提高的转换率、升级工厂技术以及降低制造成本的目的。另外新的现场法分析将关注新现场测量流程的效率,希望借此能提高工序控制,并了解半导体生产过程中各种物理化学工序。