日本荏原制作所开始销售可满足太阳能电池制造工序等的大流量气体需求的新款废气处理装置。该装置可将薄膜太阳能电池单元及半导体制造工序中排放的有毒气体无害化。该公司根据用途准备了名为G6型、G6-PV型及G6-E型的3款机型。3款机型均为具有燃烧单元及水洗集尘装置单元的复合式处理装置。

    G6型是以薄膜太阳能电池单元、液晶面板单元及半导体制造工序中各种装置所使用的气体为对象的、支持大流量的废气处理装置。每分钟最多容许流入1200升气体，与以往产品的平均每分钟350升相比，扩大到了大约3倍。由此可以减少所需废气处理装置的台数，从而降低设备成本。

    G6-PV型用于处理薄膜太阳能电池单元制造工序的装置中大量使用的清洗气（三氟化氮，NF3），平均每分钟最多可处理150升废气中所含三氟化氮。G6-E型适用于半导体制造工序产生的含有氢及氯的废气处理。每分钟最多容许流入400升气体。

    该公司通过在废气处理装置中增加3款新机型来扩充产品阵容，满足更多客户的需求。由于可再生能源的关注度日益提高，太阳能电池市场的需求进一步扩大，制造工序中使用的废气处理装置有望出现增长。荏原制作所将通过宣传其可减少环境负荷以及提高生产效率的特点来销售新的处理装置。