十二五中国将重点发展光伏生产专用设备

日期：2012-05-14 来源：互联网 作者：本站整理

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　　十二五中国将重点发展光伏生产专用设备：支持还原、氢化等多晶硅生产设备，大尺寸、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。

　　支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和PECVD等薄膜光伏电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

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