SEMI日前发布了五项新技术标准,涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业,由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。
此次新标准包含了对于光伏硅">光伏硅原料的检测方法。SEMI国际标准总监JamesAmano,表示,“随着光伏产业的迅速发展,SEMI已就光伏产业创建了一套标准体系。相信新标准的建立对于设备及工艺领域将有所保障。”
五项标准分别是:
SEMIE151
GuideforUnderstandingDataQuality
SEMIF107
GuideforProcessEquipmentAdaptorPlates
SEMIM75
SpecificationsforPolishedMonocrystallineGalliumAntimonideWafers
SEMIMS8
GuidetoEvaluatingHermeticityofMEMSPackages
SEMIPV1
TestMethodforMeasuringTraceElementsinPhotovoltaic-GradeSiliconbyHigh-MassResolutionGlowDischargeMassSpectrometry