SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。

    此次新标准包含了对于光伏硅">光伏硅原料的检测方法。SEMI国际标准总监JamesAmano,表示，“随着光伏产业的迅速发展，SEMI已就光伏产业创建了一套标准体系。相信新标准的建立对于设备及工艺领域将有所保障。”

    五项标准分别是：

    SEMIE151

    GuideforUnderstandingDataQuality

    SEMIF107

    GuideforProcessEquipmentAdaptorPlates

    SEMIM75

    SpecificationsforPolishedMonocrystallineGalliumAntimonideWafers

    SEMIMS8

    GuidetoEvaluatingHermeticityofMEMSPackages

    SEMIPV1

    TestMethodforMeasuringTraceElementsinPhotovoltaic-GradeSiliconbyHigh-MassResolutionGlowDischargeMassSpectrometry