两家LED和太阳能生产设备巨头今年二季度的财报相信会让国人暗生艳羡却又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的营收达2.53亿美元，与2009年同期相比年增251.4%；Aixtron 2010年第二季度的营收达1.918亿欧元，年增238%。正是固态照明产业和可再生能源产业的蓬勃发展让这两家分别位于美国和德国的企业赚得是盆满钵满，中国相关生产企业和资本在其中也可谓“贡献”良多，例如，有机构预计，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD将有35%以上是卖到中国大陆。
如何发展国产的太阳能和LED生产设备，降低生产成本，是关乎中国绿色节能产业健康发展的重大命题。目前国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越来越多的客户从国产设备使用中受益。中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式PECVD、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD则基本依赖进口。
即将参展第76届中国电子展暨亚洲电子展（上海）的青岛华旗科技有限公司就是一家专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家，致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备,工艺涵盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化扩散退火（含快速退火工艺）合金、真空烧结等工艺。该公司最新推出的JDF200-3FS太阳能电池扩散炉可供太阳能电池片生产线上125mm×125mm 、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用，主要特点和优势如下：
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制；
◆闭管式扩散系统，有效降低生产成本，更洁净，更环保；
◆石英舟采用软着陆送片，高可靠性；
◆工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放，更加安全环保；
◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置；
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能；
◆控温精度好，温区控温稳定性好；
◆关键件全部采用进口件，系统可靠性高，抗干扰性能强。
图1：青岛华旗科技公司最新推出的JDF200-3FS太阳能电池扩散炉。
另一家参展商青岛赛瑞达设备制造有限公司也将展示低压化学气相淀积设备、等离子增强化学气相淀积设备和SRD-VGF单晶炉设备。其LPCVD用于淀积薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。主要特性和优势如下：
◆ 对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制；
◆ 采用进口压力控制系统，闭环控制，稳定性强；
◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路气密性；
◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置；
◆ 具有良好的人机界面，灵活的工艺性能。
在LED照明方面，中国的大功率特性衬底技术、加工稳定性以及对外延效率的提升率与国外相比，差距逐渐缩小，但是上游生产性外延设备一直主要依赖进口昂贵的国外产品。MOCVD等关键设备对LED产业发展具有举足轻重的作用，有识之士都呼吁中国相关部门要集中人才和资源进行重点开发，解决制造设备中的关键技术，掌握具有自主产权的核心技术，并尽早实现LED生产设备国产化量产。只有这样才会加快推动LED产业发展，降低LED相关产品的成本，实现健康、迅速地发展。
可喜的是，即将在第76届中国电子展亮相的国产LED生产设备为人们点燃了希望，以青岛华旗科技和青岛赛瑞达为代表的一批中国设备制造商在关注太阳能电池市场的同时，正把目光投向LED、LCD、电力电子器件等市场应用领域，并保持住价格优势，在新一轮的竞争中争取更大的市场空间。他们或将成为改变中国乃至世界LED生产设备市场格局的重要力量。
图2就是青岛华旗科技的一款适用于化合物半导体-LED/半导体照明等科研领域的外延及晶体生长MOCVD系统。该系统由生长室、气源、气体控制系统、真空系统、整机的计算机控制系统等组成，系统各工艺参数均可由计算机自动控制（WINDOW 界面）。该产品可满足2"多片晶圆，支持GaN/GaAs等薄膜工艺、采用电阻加热/感应加热的结构形式，生产能力为2英寸1、3、6片。另外，该公司还承担了部分国家863项目（如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等）。
图2：华旗科技的MOCVD系统。
赛瑞达公司除了一系列太阳能专用设备之外，也开发了几款LED生产设备，包括LED专用扩散炉和专用合金炉。其LED专用扩散炉和专用合金炉关键件全部采用进口件，具有高可靠性和高抗干扰能力，具有可编程的升、降温功能，以及有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线，每条工艺曲线最多有九步，曲线间可以任意链接、重复。另外还具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为客户提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统的灵活选择。
图3：赛瑞达公司的LED专用扩散炉(上)和LED专用合金炉（下）。
上游设备的成功本土化离不开下游外延芯片厂、LED封装厂、模块乃至灯具供应商、后端设备商的配合与支持。据悉，本届秋季中国电子展，汇集了真明丽、深圳市稳亮电子、李洲科技、宁波升谱电子、常州爱立德电子、台湾亿光电子、金台电子等众多大中小型LED企业，以及田中精机、昆山具良、日特机械工程、华胜科技、上海富荣电子等一大批后端生产设备商，并专门开辟了LED照明展区，为产业上下游的互动提供了良好的互动平台，有利于促成他们之间的合作。当然，就像有些专家指出的，MOCVD等关键装备的国产化也是一件体现国家意志的事情，建议国家大力地投入，全面地支持去做这件事，特别要注意工艺与设备的结合，要鼓励外延芯片厂商应用国产设备，同时要给予一定的资助。
