近日，天龙光电对外发布了控股子公司LED MOCVD设备研发进展情况。目前江苏中晟(天龙光电持有56%的股权)已经在全资研发子公司中晟光电设备(上海)有限公司完成首台设备的中试安装和调试，公司将举行首台设备的下线仪式。多项的专有技术均已实施于该中试设备。

    此外，按照此前计划公司将于2012年1月20号前在该中试设备上进行芯片外延，从2012年2月起，江苏中晟将进入中试设备的工艺考核验证和外延工艺的开发。2013年2月前将有MOCVD设备进入下游客户装机。但同时，公司表示该产品2012年对天龙光电盈利将不产生显著贡献。

    近来，国内资本市场刮起了一股“国产MOCVD”旋风。先是乾照光电宣布引进首台由公司技术人员参与设计的国产MOCVD，放置在扬州基地进行装机调试。随后，两家上市公司勤上光电和洲明科技宣布增资广东中科宏微半导体设备有限公司，用于研发国产MOCVD。天龙光电选择此时公布研发进度，意味深长。

    据高工LED记者调查了解，新进入外延芯片领域的厂商对国产MOCVD设备还是存在某种不信任，不敢使用或是不愿使用成为潜在事实。

    某家外延厂的负责人坦言，“我们没有实力去吃第一个螃蟹，因为牙不好。外延片生产的过程太过敏感，容不得有任何细节上的变数。MOCVD提供了外延片生长的环境，大家希望这个炉子极其稳定。本来外延工程师对工艺就战战兢兢，如果你炉子再不稳定的话，怎么生产出来合格的产品”。

    “进入市场肯定是有一定的难度”，天龙光电董事总经理李留臣并没有盲目乐观，MOCVD设备的稳定性、可靠性成为外延厂家考虑的重要因素之一，这也是设备厂商努力的方向。李留臣向高工LED记者表示，“设备厂家需要与外延厂家做工艺的验证，如果得不到外延厂家的验证那就会很麻烦。”

    作为国内第一家成功试产MOCVD设备并送达外延厂家生产车间的北京思捷爱普半导体设备有限公司，在整个研制过程中，乾照光电参与了尾气处理设备、有毒气体探测、报警；气体二次配管；H2和N2初级，终级纯化器等辅助设备的安装。对于能顺利完成设备的设计及样机组装，北京思捷爱普董事长表示，“外延生产企业的直接参与很重要。”

    按照预定计划，宏微半导体拟用3年时间开展设备研制、试验调试和工业化验证，形成年产100台MOCVD设备能力，远期目标是年产500台MOCVD设备。

    但对于中国大陆市场的同行，AIXTRON内部人士表示，“中国设备厂商短期还看不到太明显的挑战，从设备做出来到成熟再到稳定，这需要一个过程。因为生产型设备要让用户觉得稳定，不是说做出来就有人用，而是长期稳定”。

    李留臣也坦言，“性能要超过进口设备确实是有难度”，但不可否认的是，国产MOCVD设备有其不可忽略的优势，“因为技术人员都在国内，国产设备的调试比进口设备更方便。另外，前期的设备调试费会由设备厂家来承担。”

    对于国产MOCVD设备的前景，李留臣表示“信心很足”，因为在光伏产业单晶硅生长炉领域，天龙光电曾率领“国产单晶硅生长炉已经基本完成了进口替代，国产化率高达90%”。

    然而，以天龙光电为代表的国产核心设备研发企业需要面对一个残酷的事实：短短两年时间，中国的产业投资者几乎吸收了全球80%以上的MOCVD设备。如今，面对上游产能过剩的危机，甚至已经有一部分企业开始出售设备自救。

    天龙光电1月11日收盘时报收14.30元，微涨0.07%。