三菱电机日前在东京举行的研究开发成果展示会上，首次展示了其正在开发的多晶硅太阳能电池单元。该产品特点是采用了通过降低表面反射率提高单元转换效率的“蜂窝结构(Honeycomb Texture)”。三菱电机表示，此多晶硅太阳能电池单元转换效率的技术开发的目标是18%以上。
据悉，蜂窝结构是在单元上形成的氮化硅(SiN)薄膜上面，用激光打出一亿个孔后，使用混合酸通过各向同性湿蚀刻形成的。通过开发出激光同时打孔技术，每个单元的加工时间为秒单位。
三菱电机此前公布过采用与蜂窝结构相同的降低反射率的离子刻蚀(RIE)结构技术，将单元转换效率提高至18%的成果。此次的蜂窝结构技术由于不需要真空装置，所以与RIE结构技术相比在节省成本的基础上，又提高了电池单元的转换效率。
该公司表示，今后将根据用于形成蜂窝结构的激光加工成本和单元转换效率的检测结果，来决定RIE结构技术和蜂窝结构技术在应用于量产时的优先次序。
